2024年5月16日至18日,備受矚目的光電子信息產(chǎn)業(yè)創(chuàng)新大會(huì)在武漢中國(guó)光谷科技會(huì)展中心盛大舉行。本次大會(huì)以“光聯(lián)萬(wàn)物,智引未來(lái)”為主題,匯聚了眾多知名企業(yè)和行業(yè)大咖,共同探討光電子產(chǎn)業(yè)的發(fā)展趨勢(shì)與創(chuàng)新方向。
在眾多參展企業(yè)中,我司與華科團(tuán)隊(duì)共同打造的系列高性能精密主動(dòng)減振系統(tǒng)精彩亮相,成為與會(huì)者關(guān)注的焦點(diǎn)。精密主動(dòng)減振系統(tǒng),具備優(yōu)秀的隔振、減振、抗沖擊功能,適用于半導(dǎo)體制造、科學(xué)儀器、精密加工、生命科學(xué)、航天航空航海等各領(lǐng)域,尤其在晶圓生產(chǎn)制造環(huán)節(jié)發(fā)揮關(guān)鍵作用,能夠提供高性能地基隔振,并快速整定臺(tái)面在檢測(cè)與測(cè)量時(shí)運(yùn)動(dòng)沖擊帶來(lái)的波動(dòng),極大地提升晶圓生產(chǎn)效率和產(chǎn)品質(zhì)量。目前,公司最新減振系統(tǒng)產(chǎn)品可以滿足X納米級(jí)光刻設(shè)備運(yùn)行要求。
此次參展的有高性能鋼彈簧、氣浮彈簧、磁浮彈簧等4個(gè)系列20余款產(chǎn)品,可以滿足不同應(yīng)用場(chǎng)景的減隔振需求,展示了公司在減振技術(shù)領(lǐng)域的強(qiáng)大實(shí)力。
該技術(shù)成果源自華中科技大學(xué)陳學(xué)東院士團(tuán)隊(duì)20余年的深入鉆研,先后獲得國(guó)家科技進(jìn)步二等獎(jiǎng)等多項(xiàng)榮譽(yù)。公司已與陳學(xué)東院士團(tuán)隊(duì)達(dá)成全面合作,受讓全部知識(shí)產(chǎn)權(quán)成果,與院士團(tuán)隊(duì)一道推動(dòng)主動(dòng)減振技術(shù)實(shí)現(xiàn)產(chǎn)業(yè)化。
新產(chǎn)品的推出將進(jìn)一步夯實(shí)公司多賽道發(fā)展的基石。公司將構(gòu)建從核心元器件、動(dòng)力仿真軟件算法到精密運(yùn)動(dòng)控制整體解決方案的完整產(chǎn)業(yè)鏈,改變我國(guó)高端制造裝備對(duì)主動(dòng)減振系統(tǒng)依賴進(jìn)口的現(xiàn)狀,同時(shí),也為我國(guó)光電子產(chǎn)業(yè)的創(chuàng)新發(fā)展注入新活力。