通過(guò)站端監(jiān)測(cè)裝置采集、評(píng)估數(shù)據(jù)，運(yùn)用廣域級(jí)虛擬標(biāo)準(zhǔn)器算法、智能分析算法，實(shí)現(xiàn)廣域大規(guī)?；ジ衅鞯恼`差評(píng)估，為用戶(hù)提供可視化在線(xiàn)監(jiān)測(cè)、診斷與分析、檔案管理、運(yùn)維管理等功能。
超精密減振系統(tǒng)是保證IC光刻機(jī)整機(jī)、工件臺(tái)、光源、物鏡等核心部件穩(wěn)定運(yùn)行的關(guān)鍵技術(shù)，廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體制造各環(huán)節(jié)，當(dāng)前，超精密減振系統(tǒng)處于“卡脖子”狀態(tài)，海外廠(chǎng)家市場(chǎng)占有率100%，我國(guó)長(zhǎng)期空白。
研發(fā)面向勞動(dòng)作業(yè)型場(chǎng)景的人形機(jī)器人,身高180cm,體重100kg,自由度31+2,移動(dòng)速度>5km/h,負(fù)重能力>40kg,最大關(guān)節(jié)扭矩38ON-m。具備高通用性、高機(jī)動(dòng)性、高負(fù)載能力,具身智能等特點(diǎn)。
